等離子的產生
利用高頻高壓的電磁場， 當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生的電子、正離子、自由基和中性粒子的混合體，被稱為等離子體。
環保產業常用的等離子產生辦法為：電暈放電和介質阻擋放電。
等離子體降解污染物技術原理
等離子體中的大量高能電子轟擊污染物分子，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂；大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或直接分解成無害氣體成份。
同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下，產生大量的活性氧和羥基等活性基團，活性氧和羥基與有害氣體分子發生氧化等一系列復雜的化學反應，最終廢氣成份被轉化為CO2和H2O等無害物質，達到降解污染物的目的。
