先將有機廢氣用活性炭吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。當有機廢氣的濃度達到2000mg/m3以上時，有機廢氣在催化床可維持自然，不用外加熱。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。這樣可以滿足燃燒和吸附所需要的熱能，達到節能的目的。再生后的可進入下次吸附；在脫附時，凈化操作可用另一個吸附床進行，即適合于連續操作，也適合于間斷操作